【摘要】:针对半导体器件微结構侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进行了标定,获得了喇叭口针尖与样品侧壁横向接近过程中探针扭转振幅的變化曲线.利用该系统对栅格标样侧壁局部形貌进行了线扫描和面扫描,所得轮廓具有较好的重复性,且测量所得形貌特征与常规轻敲模式扫描結果一致,表明本文所述3D-AFM系统及工作模式能够用于微结构侧壁形貌的检测.
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中国国际纳米技术产业发展论坛暨纳米技术成果展(CHInano)经过六年的潜心耕耘已成为中国规模最大、影响力最广的纳米技术应用产业交流盛会,是纳米企业形象展示、产品推介、技术交流、市场拓展的最佳舞台
CHInano2015专业观众逾7000人,8个纳米技术集群协会组团参加27个国际及地区的专业机构组团参展,参展参会企业逾700余家期间共有专业报告141场次,超过50家国内外知名媒体报道此次盛会
CHInano2016将继续聚焦纳米新材料、分析与检测、微纳制造、MEMS、纳米生粅与医药、纳米环保与清洁等领域的产品与技术,打造中国最具价值的纳米展场同期举办的纳米论坛,将邀请来自全球产业界、科研界鉯及政府部门中顶尖的纳米技术专家分享纳米技术最新应用成果、前瞻性科研领域及各国政府的纳米战略届时希望与更多展商朋友进行茭流、碰撞。
我们衷心期望通过我们的努力使贵公司能够在此届展会与论坛上取得最大的收获。
2016年论坛及相关活动模式多样形式灵活,主要分为:专题论坛技术论坛,国际对接企业活动四个板块,涵盖微纳制造纳米生物,3D打印纳米催化,碳材料等应用主题目前共拟定10场论坛并多个同期活动